• Institut des matériaux de Paris-Centre

Microscopie électronique à balayage - IMPC

  • SEMFEG, EDXS

Microscopie électronique à balayage (MEB) haute résolution et spectrométrie par sélection d’énergie des rayons X (EDX).

Présentation

La plateforme de microscopie électronique à balayage de l’IMPC (MEB et EDX) est sous la responsabilité d’un ingénieur d’études expérimenté et spécialisé dans la caractérisation des matériaux suivant deux techniques :

Microscopie électronique à balayage

Cette technique permet essentiellement d'obtenir des images de la topographie de la surface des échantillons. On atteint la résolution spatiale de l’ordre du nanomètre grâce au canon à émission de champ du MEB (SEM-FEG). Il s’agit d’un Hitachi SU-70.

Caractéristiques : haute résolution 1 nm à 15 kV en signal électrons secondaires (détecteur SE Upper, lentille Snorkel). Possibilité de travailler à basse tension d’accélération, voire même à quelques centaines de volts (décélération) pour les échantillons fragiles (résolution 2,5 nm à 1 kV). Imagerie en contraste de composition chimique (BSE) même à basse tension d’accélération grâce à un filtrage en énergie d’électrons (BxE).

Spectrométrie en sélection d’énergie des rayons X (EDX)

Cette technique permet une analyse quasiment non destructive, localisée, de la composition élémentaire de la matière composant l’échantillon avec une sensibilité de 1% en masse, sur une profondeur micrométrique. Le spectromètre est installé sur le SEMFEG, c’est un Oxford X-Max.

Caractéristiques : technologie SDD, 50 mm2 analyses ponctuelles et cartographies (résolution spatiale 1 µm à 15 kV) relativement rapides grâce à un fort taux de comptage (jusqu’à 150 000 cps).

Notre expertise porte sur :

  • Nanomatériaux
  • Céramiques
  • Oxydes métalliques
  • Matériaux hybrides organiques-inorganiques
  • Alliages métalliques
  • Polymères
  • Mise en place de protocoles d’étude des matériaux
  • Réalisation des caractérisations morphologiques et analytiques
  • Interprétation des résultats des caractérisations
  • Caractérisation de la topographie de la surface des échantillons de l’échelle du millimètre (x30) à l’échelle du nanomètre (x100 000)
  • Analyse de composition élémentaire de la matière (sauf H, Li et Be) et cartographies de composition

Ouvert aux établissements privés ou publics / Devis sur demande.

Responsable

David Montero

IMPC - 4 place Jussieu - Tour 32-42, sous-sol, salle SS04
75252 Cedex 05
Paris
Sorbonne Université - Faculté des Sciences et Ingénierie
Campus Pierre et Marie Curie
4 place Jussieu 75005 Paris
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