Salle blanche - INSP

Une plateforme labellisée de Sorbonne Université.
L’Institut des Nano Sciences de Paris possède en son sein une salle blanche. Avec ses 170 m² de locaux propres, dont 80 m² en classe de propreté ISO 6 et 90 m² en classe ISO 7, cet outil représente un instrument de pointe indispensable pour les recherches dans le domaine des micro et nanotechnologies.
Cette plateforme répond aux besoins des membres de l’INSP et est également ouverte, sur demande, à la communauté scientifique et aux entreprises.

Expertise

• Structuration de surface : photolithographie et lithographie électronique
• Dépôts de couches minces (Au, Cr, Ti, Ag, Al, ZnO, SiO2, Cu, Fe, Ni, Gd, …)
• Oxydation thermique sèche et gravure anisotrope du silicium
• Gravures chimiques
• Caractérisation d’échantillons : microscope électronique avec sonde EDS, profilomètre mécanique, microscopes optiques

Réalisation et caractérisation d’échantillons selon un cahier des charges établis en amont avec les utilisateurs.
Le personnel de la plateforme a en charge l’accueil et la formation des utilisateurs, de les conseiller et de les assister dans la bonne réalisation de leurs projets scientifiques, de maintenir et de moderniser le parc d’équipements à disposition, et de faire respecter les règles d’utilisation et de sécurité inhérentes à une telle installation.

Activités pluridisciplinaires à cheval entre physique, électronique, chimie et biologie.

Ouvert aux établissements publics ou privés.
Informations et devis sur demande.