• Physique

Laboratoire de physique des plasmas | LPP

  • Unité mixte de recherche

Les plasmas représentent 99% de la matière visible à l’échelle cosmique. En quelques décennies les plasmas ont pris une place prépondérante dans notre société moderne même si on ne le réalise pas toujours. Par exemple les plasmas sont un élément clef pour la fabrication de la microélectronique dans les téléphones portables et ordinateurs, et les plasmas sont aussi utilisés pour la propulsion des satellites et sont aussi au cœur de la fusion thermonucléaire, future source d’énergie alternative. En amont de ces applications les équipes du LPP développent des travaux de recherche fondamentaux, théoriques et expérimentaux sur ces différents plasmas.

Équipes

3 équipes

  • Plasmas de fusion
  • Plasmas spatiaux
  • Plasmas froids

Direction

  • Dominique Fontaine

Direction adjointe

  • Anne Bourdon

Administration

Communication

Autres tutelles

  • Centre National de la Recherche Scientifique | CNRS

  • SAFRAN Aircraft Engines
  • DGA
  • CNES, European Space Agency, NASA
  • Enseignants-chercheurs : 8
  • Chercheurs : 21
  • Personnels d'appui à la recherche : 25
  • Doctorants : 25
  • Post-doctorants : 20
  • Salle blanche (plasmas spatiaux) destinée aux tests et à l’assemblage des spectromètres qui seront embarqués sur satellites - site de Sorbonne Université
  • Machine toroïdale magnétisée ToriX, basée à Palaiseau

Publications

  1. Publications LPP

Publications sur HAL - Archive ouverte

Toutes les publications sur HAL
  • Article dans une revue

On the use of pulsed DC bias for etching high aspect ratio features

Xingyi Shi, Samaneh Sadighi, Shahid Rauf, Han Luo, Jun-Chieh Wang, Jason Kenney, Jean-Paul Booth, Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Nishant Sirse

Inductively coupled plasmas (ICPs) containing Cl2 are widely used for plasma etching in the semiconductor industry. One common issue during plasma etching is aspect ratio dependent etching (ARDE), which is generally attributed to variation in the flux of etchant species to the bottom of features…

Journal of Vacuum Science & Technology A, 2025, 43 (1), ⟨10.1116/6.0003943⟩. ⟨hal-04818519⟩

Coordonnées

Adresse physique

(1) LPP, Sorbonne Université, Campus Pierre et Marie Curie, Tour 24, 4e et 5e étages, 4 place Jussieu, 75005 Paris // (2) LPP, École Polytechnique, route de Saclay, 91128 Palaiseau Cedex

Adresse postale

Laboratoire de Physique des Plasmas, Sorbonne Université, Campus Pierre et Marie Curie, BC90, 4 place Jussieu, 75252 Paris Cedex 05 // (2) Laboratoire de Physique des Plasmas, École Polytechnique, Route de Saclay, 91128 Palaiseau Cedex
Adresse physique (1)
Laboratoire de Physique des Plasmas
Sorbonne Université
Faculté des Sciences et Ingénierie
Campus Pierre et Marie Curie
Tour 24, 4e et 5e étages
4 place Jussieu, 75005 Paris
Adresse physique (2)
Laboratoire de Physique des Plasmas
École Polytechnique
Route de Saclay, 91128 Palaiseau Cedex
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